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Akribis-Air智能研磨抛光机
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- 更新时间:2018-10-10
产品简介:
Akribis-Air智能研磨抛光机,具有高度自动化的独立系统,提供了工艺创新,在短时间内可实现Z高水平的处理。完整的Akribis-air研磨抛光系统具有智能自动化的功能,如盘面平整度控制、夹具自动设置、动态负荷控制、增加控制参数、实时数据收集和反馈、计量磨料供应、自动清洗功能等。
Akribis-air智能研磨抛光机,具有高度自动化的独立系统,提供了工艺创新,在短时间内可实现zui高水平的处理。
Akribis-Air智能研磨抛光机功能:
- 盘面平整度控制
- 夹具自动设置
- 动态负荷控制
- 增加控制参数
- 实时数据收集和反馈
- 计量磨料供应
- 自动清洗功能
单工作站系统配有400mm的盘,速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统,在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。
Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:
- 硅集成电路、太阳能和波导
- III-V族化合物稀释和抛光
- 蓝宝石和发光二极管
- 碳化硅光学,发光二极管和电力电子
- 氮化镓-光学仪器、激光、射频高频